유비쿼터스와 RF-ID

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 초소형 시스템이나 초소형 정밀기계를 말하며 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등으로도 부르고 있다. MEMS 장치는 크기가 작기 때문에 아주 좁은 공간에서도 사용할 수 있어 기계장치 또는 사람의 신체 내부에 들어가 여러 가지 활동을 할 수 있다. MEMS는 전자 및 기계 부품들로 구성되어 있고 초기에는 반도체공법과 소재를 이용하여 만들었다. 정보기기 관련 시스템의 센서나 프린터 헤드와 같은 중요한 부분에 이용되고 있으며 생명공학, 미세 유체 및 화학분석, 운송 및 항공, 광학, 그리고 로봇 등과 같은 산업 분야에서 구조, 부품 및 시스템 제조를 위한 핵심 기술로 활용되고 있다.