Àü±âÀüÀÚ - ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Á¦ÀÛ°øÁ¤ & MEMS
¸ñ Â÷
#¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Á¦ÀÛ°øÁ¤
#MEMS (micro electro mechanical systems)
¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Á¦ÀÛ°øÁ¤
1´Ü°è ´Ü°áÁ¤ ¼ºÀå
°í¼øµµ·Î Á¤Á¦µÈ ½Ç¸®ÄÜ ¿ëÀ¶¾×¿¡ SEED °áÁ¤À» Á¢ÃË, ȸÀü½ÃÅ°¸é¼ ´Ü°áÁ¤±Ô¼ÒºÀ(INGOT)À» ¼ºÀå½ÃÅ´
2´Ü°è ±Ô¼ÒºÀÀý´Ü
¼ºÀåµÈ ±Ô¼ÒºÀÀ» ±ÕÀÏÇÑ µÎ²²ÀÇ ¾ãÀº ¿þÀÌÆÛ·Î À߶󳽴Ù. ¿þÀÌÆÛÀÇ Å©±×´Â ±Ô¼ÒºÀÀÇ ±¸°æ¿¡ µû¶ó
3`,4`,6`,8`·Î ¸¸µé¾îÁö¸ç »ý»ê¼ºÇâ»óÀ» À§ÇØ Á¡Á¡ ´ë±¸°æÈ °æÇàÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖÀ½
3´Ü°è ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¬¸¶
¿þÀÌÆÛÀÇ ÇÑÂʸéÀ» ¿¬¸¶ÇÏ¿© °Å¿ï¸éó·³ ¸¸µé¾îÁÖ¸ç, ÀÌ ¿¬¸¶µÈ ¸é¿¡ ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» ±×·Á³Ö°Ô µÊ
4´Ü°è ȸ·Î¼³°è
CAD(Computer Aided Design)½Ã½ºÅÛÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ÀüÀÚȸ·Î¿Í ½ÇÁ¦ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ±×·ÁÁú ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» ¼³°èÇÑ´Ù.
5´Ü°è MASK(RETICLE)Á¦ÀÛ
¼³°èµÈ ȸ·ÎÆÐÅÏÀ» E-beam¼³ºñ·Î À¯¸®ÆÇ À§¿¡ ±×·Á M...
|